earticle

논문검색

Tripod polishing을 이용한 lBAD/RABiTS 기판의 TEM분석

원문정보

TEM analysis of IBAD/RABiTS substrates prepared by Tripod polishing

최순미, 정준기, 유상임, 박찬, 오상수, 김철진

피인용수 : 0(자료제공 : 네이버학술정보)

목차

1. 서론
 2. 실험방법
  2.1 시편의 절단 및 접합준비
  2.2 초기 연마
  2.3 Tripod 원리 및 연마
  2.4 TEM 관찰
 3. 결과 및 고찰
  3.1 RABiT 기판의 TEM 관찰
  3.2 IBAD 기판의 TEM 관찰
 4. 결론
 감사의 글
 참고문헌

저자정보

  • 최순미 Soon Mee Choi. 경상대 대학원 세라믹공학과 석사과정
  • 정준기 Jun-Ki Chung. 창원대 산업기술연구원 연구교수
  • 유상임 Sang Im Yoo. 서울대 공대 재료공학부 부교수
  • 박찬 Chan Park. 서울대 공대 재료공학부 부교수
  • 오상수 Sang soo Oh. 한국전기연구원 책임연구원
  • 김철진 Cheol Jin Kim. 경상대 공대 세라믹공학과 교수

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

    함께 이용한 논문

      ※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.

      • 4,000원

      0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.