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본 연구는 연구개발사업의 성과와 성과유형, 성과지표 등에 대한 이 론적 개념을 바탕으로 실제로 각 지역의 지역산업기술개발사업이 어 떠한 성과평가 지표와 측정방법을 적용하여 성과를 평가하고 있는지 와, 사업의 성과평가 결과에 대해 비교분석해 성과평가가 이루어지고 있는 현황과 성과의 수준을 분석하는데 목적이 있다. 이를 위해 본 연구에서는 대구광역시, 광주광역시, 강원도, 경상남도, 충청북도 5개 광역자치단체의 1단계(2003-2007년) 지역산업기술개발사업을 대상으 로 사업의 기술적, 경제적 성과 및 파급효과, 기타 측면에서의 성과지 표와 측정방법에 대해 비교 분석하였다. 성과분석 결과들은 사업의 효과성, 효율성 등을 입증하는데 활용되고 있으며 대부분 설문조사 방식의 사업별 성과분석을 실시하고 있어 연구자의 응답에 의존하는 형태로 객관적이고 신뢰성있는 성과 측정과 분석에는 한계가 있다. 지역산업기술개발사업의 성과지표와 측정방법에 있어 지역마다 차이 를 보이고 있으나 평가에 있어 설문의 의존도를 줄이고 다양한 측정 지표와 방법을 통해 평가의 정확성과 객관성을 높이기 위한 노력이 필요한 것으로 보인다.