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레이저는 매우 좁은 full-width half maximum (FWHM)을 갖고 있기 때문에 기존의 측정 장비로는 resolution의 한계로 인해 정확한 측정이 어려운 점이 있다. 본 논문에서는 레이저 선폭의 정확한 측정을 위해 delayed self heterodyne (DSH) 측정 기법을 이용하여 실험을 진행하였다. 레이저는 빛이 나오는 방향, 위상이 모두 같은 coherence한 성질을 지니고 있다. DSH 측정 시스템에서 레이저의 coherence한 성질이 없어지게 하기 위해 레이저의 coherence length (Lc) 보다 큰 delay line을 이용하였다. 본 연구에서는 20 km 이상의 delay line을 통해 distributed feedback laser diode (DFB-LD), vertical cavity surface-emitting laser (VCSEL) 소자의 선폭을 측정 하였다. 그 결과, 각각의 FWHM은 500 kHz, 3.5 MHz의 FWHM을 얻을 수 있었다.