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최근 silicon nitride를 이용한 waveguide 응용 연구가 많이 진행되고 있다. 본 논문에서는 single mode조건을 만족시키기 위해 1.5 μm의 width와 0.45 μm의 height를 가진 waveguide를 설계하였고, 이를 multimode interference (MMI) coupler 설계에 이용하였다. MMI는 빛이 진행함에 따라 일정한 주기를 가지고 스플릿 되는 현상을 이용한 것으로써, 공정상의 오차를 줄일 수 있고 MMI length, width, 포트간격에 따라 출력 비율을 용이하게 조절할 수 있는 장점이 있다. 이에 본 논문에서는 MMI length 53.6 μm, width 4.5 μm, 포트간격 1.5 μm의 50:50 출력특성을 가진 MMI를 설계하였다.