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Taguchi method for optimization of design parameters based on the outlet pressure uniformity of the plasma discharge chamber
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초록
영어
This paper presents the approach of design parameters optimization based on Taguchi method for the uniformity of outlet pressure in a plasma discharge chamber. The key issue of a plasma discharge chamber is to have the uniformity of outlet pressure which can make a high performance of surface treatment. To extend the length of a outlet from 60mm to 250mm with the uniformity, This study optimally designed the middle holes, outlet width and height, and diameter of the second chamber by using SolidWorks and flow simulation tool. Simulation results demonstrate the validity of the proposed approach.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 계획법 및 모델 파라미터
2.1 실험 계획법
3. 다구찌 기법을 활용한 시뮬레이션
3.1 실험을 진행하기 위한 초기 파라미터 설정
3.2 Chamber1 Cube Model에 대한 시뮬레이션
4. 결과 분석
5. 결론
후기
References
1. 서론
2. 실험 계획법 및 모델 파라미터
2.1 실험 계획법
3. 다구찌 기법을 활용한 시뮬레이션
3.1 실험을 진행하기 위한 초기 파라미터 설정
3.2 Chamber1 Cube Model에 대한 시뮬레이션
4. 결과 분석
5. 결론
후기
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