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<학술연구>

이온빔 조사방법을 이용한 SiOF 기판상의 수평배향 엘시디 표시소자의 특성에 관한 연구

원문정보

Study of Homogeneous Alignm ent LCD Device using Ion-beam Irradiation method on SiOF Substrates

조명현, 김원배, 이호영

한국기계기술학회 한국기계기술학회지 제17권 제2호 2015.04 pp.335-340
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초록

영어

Nematic liquid crystal (NLC) alignment effects on SiOF layers via ion-beam(IB) irradiation for four types of incident energy were successfully studied. The effect of fluorine addition on silicon oxide film properties as a function of SiOF₄/O₂gas flow ration was investigated. The SiOF thin film exhibits good chemical and the thermal stability of the SiOF thin film were sustained as function of the NLC alignment until 200℃. Also, the response-time characteristics of aligned LCD based on SiOF film were studied.

목차

Abstract
 1. INTROUDUCTION
 2. EXPERIMENTS
 3. RESULTS AND DISCUSSION
 4. CONCLUSIONS
 References

키워드

저자정보

  • 조명현 Myung-Hyun Cho. Member, Seoil University
  • 김원배 Won- Bae Kim. SongWon University
  • 이호영 Ho-Young Lee. Chodang University

참고문헌

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