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Behavior of Magnetostrictive Thin Film Actuator using Epoxy Bonding
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초록
영어
Magnetostrictive actuator is fabricated with epoxy bonding method instead of sputtering method in this study. Fabrication process and experimental measurement method for magneto- mechanical characteristics is proposed. For the design of highly flexible magnetostrictive actuator, TbDyFe epoxy bonding with SU-8 substrate is adopted. The fabrication process for SU-8 substrate and the epoxy bonding is suggested and magnetostrictive behavior is investigated. Variable magnetic field is applied to measure the various magnetostrictive characteristics and magnetostriction is measured with different waves and different magnitude of magnetic field.
목차
Abstract
1. 서론
2. 자기변형 작동기의 제작
2.1 자기변형 작동기 제작 배경
2.2 자기변형 작동기의 제작
3. 자기변형 작동기의 실험
3.1 박막 두께 및 자화 측정
3.2 자기변형 측정
4. 결론
References
1. 서론
2. 자기변형 작동기의 제작
2.1 자기변형 작동기 제작 배경
2.2 자기변형 작동기의 제작
3. 자기변형 작동기의 실험
3.1 박막 두께 및 자화 측정
3.2 자기변형 측정
4. 결론
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