earticle

영어

Porous silicon films are electrochemically etched from crystalline silicon wafers in an aqueous solution of hydrofluoric acid(HF). Careful control of etching conditions (current density, etch time, HF concentration) provides films with precise, reproducible physical parameters (morphology, porosity and thickness). The etched p attern could be varied due to (1) current density controls pore size (2) etching time determines depth and (3) complex layered structures can be made using different current profiles (square wave, triangle, sinusoidal etc.). The optical interference spectrum from Fabry-Perot layer has been used for forensic applications, where changes in the optical reflectivity spectrum confirm the identity. We will explore a method of identifying the specific pattern code and can be used for identities of individual code with porous silicon based encoded nanosized smart particles.

한국어

실리콘 웨이퍼를 사용하여 에탄올과 플루오르화수소산의 혼합용액을 전해질로 하여 전기화학적 에칭법으로 다공성 실리콘을 제작하였다. 이 때 전기를 sine wave의 형태로 걸어주어 rugate filter를 제작하여 400 nm에서 1000 nm의 가시광선 영역에서 단일한 스펙트럼을 나타내는 multi lyaer를 형성시켰다. 또한 이 파장을 합하여 코드화 하였다. 결과적으로 다양한 sine wave의 간섭으로 barcode화가 가능함을 확인하였다. 이렇게 형성된 다공성 실리콘을 박리하여 smart dust를 쉽게 제작할 수 있으며, 이에 magnetic을 삽입시켜주고, 그 위에 페인트를 칠해도 변함없이 본래의 스펙트럼이 나오는 것을 통해 barcode로써의 가능성을 확인하였고, 그 스펙트럼은 페인트를 칠한 후 열처리를 하였을 경우에도 변하지 않았다. 하지만 열처리 온도가 200oC 보다 높아질 경우 열경화 현상으로 인하여 silicon wafer표면에 달라붙어 제거시 어려움이 따르므로 더 높은 온도에서 열처리를 할 경우 별도의 표면 처리가 이루어 져야 할 것이라 생각된다.