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Design of Piezo driven Motion stage using novel cross hinge structure
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초록
영어
This paper presents the design and simulation results of a piezo-driven motion stage that employs a novel cross hinge structure that is more efficient and flexible than previous designs. The newly designed motion stage enables close to nanometer-precision motion control with ranges up to 1.6mm. Simulation results show the effectiveness of the novel hinge structures and the performance of the proposed design.
목차
Abstract
1. 서론
2. Stage의 구조 및 특성
2.1 Stage의 기계적 구조
2.2 Stage의 증폭 비율
2.3 Cross hinge 설계 원리
3. 시뮬레이션 결과
3.1 Cross hinge 시뮬레이션 결과
3.2 Motion stage 시뮬레이션 결과
4. 결론
참고문헌
1. 서론
2. Stage의 구조 및 특성
2.1 Stage의 기계적 구조
2.2 Stage의 증폭 비율
2.3 Cross hinge 설계 원리
3. 시뮬레이션 결과
3.1 Cross hinge 시뮬레이션 결과
3.2 Motion stage 시뮬레이션 결과
4. 결론
참고문헌
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