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Hollow Cathode Discharge에서 플라즈마 특성에 관한 연구

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Study on Characteristics of Plasma in Hollow Cathode Discharge

윤만영, 신종순

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초록

영어

The measured plasma temperature of Ar hollow cathode discharge for several metal cathodes are about 620 ~ 780K at discharge current of 7 ~ 10mA. The optogalvanic signals were measured using hollow cathode discharge tube with argon as buffer gas at change of discharge currents. A change of ionization rate due to electron collision causes an increase or decrease of the electric conductivity. This change in electric conductivity generates the optogalvanic signal. We conclude that optogalvanic signal has close relation with the lowest metastable atoms density at low current.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 실험
 3. 결과 및 고찰
  3-1. 플라즈마 온도 측정
  3-2. 플라즈마의 균일성 측정
  3-3. 플라즈마 밀도 측정
 4. 결론
 참고문헌

저자정보

  • 윤만영 Man-Young Yoon. 중부대학교 공과대학 정보통신학과
  • 신종순 Jong-Soon Shin. 중부대학교 공과대학 인쇄미디어학과

참고문헌

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