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Synthetic photoresist have partially displaced the natural materials, but bichromated casein have remained in use until recently at etching industry such as chemical milling. The object of this paper is that the mutual relations among factors and suitable latitude in pattern formation or etching process when is to be applied the casein ammonium bichromate photoresist.
목차
Abstract
I. 序論
II. 理論
1. 개요
2. 특성
III. 實驗
1. 사용기재
2. 현상처리
3. 측정농도
4. 특성곡선
5. 처방액
IV. 結果 및 考察
1. D-76
2. FX-6a에 의한 현상처리
3. FX-6a(KBr 1g 함유)
4.Keelan No.315(기본처방)
V. 結論
參考文獻
I. 序論
II. 理論
1. 개요
2. 특성
III. 實驗
1. 사용기재
2. 현상처리
3. 측정농도
4. 특성곡선
5. 처방액
IV. 結果 및 考察
1. D-76
2. FX-6a에 의한 현상처리
3. FX-6a(KBr 1g 함유)
4.Keelan No.315(기본처방)
V. 結論
參考文獻
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