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MBE로 성장한 GaN 에피층의 급속 열처리

원문정보

Rapid Thermal Annealing of GaN EpiLayer grown by Molecular Epitaxy

최성재, 이원식

국제인공지능학회(구 한국인터넷방송통신학회) 한국인터넷방송통신학회 논문지 제10권 제1호 2010.02 pp.7-13
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목차

요약
 Abstract
 I. 서론
 II. 실험
 III. 결과 및 논의
 IV. 결론
 참고문헌

키워드

저자정보

  • 최성재 Sung Jai Choi. 경원대학교 IT대학 전자통신공학부 전자공학과
  • 이원식 Won Sik Lee. 경원대학교 교양대학 자율전공학부

참고문헌

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