earticle

논문검색

Gray-scale포토마스크를 사용한 마이크로구조물의 제작

원문정보

Fabrication of Microsructures Using Gray-Scale Photolithography

성기훈

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제6집 2003.12 pp.45-49
피인용수 : 0건 (자료제공 : 네이버학술정보)

목차

Abstract
 요지
 1. Introduction
 2. Experimental
 3. Result and Discussion
 4. Conclusion
 References

저자정보

  • 성기훈 Gi Hun Seong. 한양대학교 응용화학과

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

    함께 이용한 논문

      ※ 기관로그인 시 무료 이용이 가능합니다.
      ※ 학술발표대회집, 워크숍 자료집 중 4페이지 이내 논문은 '요약'만 제공되는 경우가 있으니, 구매 전에 간행물명, 페이지 수 확인 부탁 드립니다.

      • 4,000원

      0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.