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패턴 Top Rounding 효과를 고려한 패턴 붕괴 전산모사

원문정보

Resist Pattern Collapse with Top Rounding Resist Profile

이형주, 박준택, 오혜근

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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 패펀 붕괴의 역학적 해석
  2.1 패턴이 세척액으로부터 받는 압력
  2.2 패턴이 세척액으로부터 받는 압력에 따른 모델링
  2.3 패턴의 top 부분이 둥근 (rounded top) 패턴의 해석
 3. Critical aspect ratio 계산
 4. Critical aspect ratio 계산 결과
 5. 패턴 변형 계산 결과
 6. 시뮬레이션 결과
 7. 결과 및 고찰
 참고문헌

저자정보

  • 이형주 Hyung-Joo Lee. 한양대학교 응용물리학과
  • 박준택 Jun-Taek Park. 한양대학교 응용물리학과
  • 오혜근 Hye-Keun Oh. 한양대학교 응용물리학과

참고문헌

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