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Resist Pattern Collapse with Top Rounding Resist Profile
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목차
요지
Abstract
1. 서론
2. 패펀 붕괴의 역학적 해석
2.1 패턴이 세척액으로부터 받는 압력
2.2 패턴이 세척액으로부터 받는 압력에 따른 모델링
2.3 패턴의 top 부분이 둥근 (rounded top) 패턴의 해석
3. Critical aspect ratio 계산
4. Critical aspect ratio 계산 결과
5. 패턴 변형 계산 결과
6. 시뮬레이션 결과
7. 결과 및 고찰
참고문헌
Abstract
1. 서론
2. 패펀 붕괴의 역학적 해석
2.1 패턴이 세척액으로부터 받는 압력
2.2 패턴이 세척액으로부터 받는 압력에 따른 모델링
2.3 패턴의 top 부분이 둥근 (rounded top) 패턴의 해석
3. Critical aspect ratio 계산
4. Critical aspect ratio 계산 결과
5. 패턴 변형 계산 결과
6. 시뮬레이션 결과
7. 결과 및 고찰
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