원문정보
Thickness Reduction Effect of Chmically Amplified Resist Simulator during Post Exposure Bake
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목차
요지
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과
3.1. PEB 중 감광제의 두께 변화
3.2. 두께와 Cas 사이의 관계
4. 시뮬레이션
4.1. 탑 라운딩 효과
4.2. 측면각
4.3. 초점 여유도
4.4. 노광량 감소 효과
5. 결론
6. 참고문헌
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과
3.1. PEB 중 감광제의 두께 변화
3.2. 두께와 Cas 사이의 관계
4. 시뮬레이션
4.1. 탑 라운딩 효과
4.2. 측면각
4.3. 초점 여유도
4.4. 노광량 감소 효과
5. 결론
6. 참고문헌
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